2IN1 405 нм 40 Вт и 375 нм 8 Вт УФ-лазерный модуль с двойной длиной волны и оптоволокном

Двухволновой оптоволоконный УФ-лазерный модуль 2IN1 405 нм, 40 Вт и 375 нм, 8 Вт — мощное многофункциональное оптическое решение, разработанное для передового микропроизводства, обработки полупроводников, двухпроцессной литографии печатных плат HDI (High-Density Interconnect) и производства материалов, отверждаемых УФ-излучением. Сочетая в себе высокоэффективную обработку фиолетового света с длиной волны 405 нм и преимущество формирования рисунка со сверхвысоким разрешением с помощью 375-нм ближнего УФ-излучения, этот модуль обеспечивает общую выходную мощность 48 Вт с независимым контролем длины волны, что позволяет интегрировать в одном модуле несколько рабочих процессов точной обработки и снизить инвестиционные затраты на оборудование.

Основные преимущества синергии двух длин волн

Дополнительная двойная длина волны: удовлетворяет потребности в прецизионной обработке во всем диапазоне

• Длина волны, близкой к УФ-излучению, 375 нм, 8 Вт: предназначена для сценариев формирования рисунка с высоким разрешением — соответствует пику поглощения фоторезистов g-линии/h-линии, что позволяет изготавливать сверхтонкие элементы размером менее 1 мкм (например, полупроводниковые МЭМС-устройства, каналы микрофлюидных чипов) с минимальными зонами термического влияния (ЗТВ ≤0,5 мкм). Сверхузкая ширина спектральной линии (≤3 нм на полувысоте) обеспечивает стабильную реакцию фоторезиста, что критически важно для контроля критических размеров (CD) в передовом производстве.

• Длина фиолетовой волны 405 нм, 40 Вт: оптимизирована для высокопроизводительной обработки — обеспечивает в 3–5 раз более высокую эффективность поглощения на фоторезистах на основе акрилата, УФ-отверждаемых клеях и полимерных композитах, чем свет с длиной волны 375 нм, обеспечивая быстрое экспонирование панелей печатных плат размером 600×600 мм за один проход и быстрое отверждение толстых конформных покрытий. Высокая мощность 40 Вт сокращает время обработки на 70 % по сравнению с одноволновыми модулями мощностью 10 Вт.

• Независимое управление длиной волны: обе длины волн поддерживают раздельное включение/выключение и ШИМ-модуляцию 0–100%, что обеспечивает гибкое переключение между формированием рисунка с высоким разрешением (375 нм) и высокоскоростной обработкой (405 нм) без перенастройки оптического пути.

Общая мощность 48 Вт и прецизионное оптоволоконное соединение: максимальная производительность обработки

• Общая выходная мощность в непрерывном режиме 48 Вт (40 Вт+8 Вт) обеспечивает совокупную плотность энергии ≥50 000 мВт/см² на кончике волокна, поддерживая крупносерийное серийное производство сложных компонентов, требующих как точного формирования рисунка, так и быстрой обработки.

• Конструкция двухканальной независимой волоконно-оптической связи: каждая длина волны соединена с многомодовым кварцевым волокном УФ-класса (диаметр сердцевины настраивается: 105 мкм/200 мкм/400 мкм, NA = 0,22) с эффективностью связи ≥85% для обоих каналов, что минимизирует оптические потери и обеспечивает стабильную передачу энергии.

• Опция совместного выхода волокна: дополнительный объединитель лучей объединяет две длины волн в одно волокно для коаксиальной обработки двух длин волн, что идеально подходит для гибридных задач (например, создание рисунка на длине волны 375 нм + отверждение на длине волны 405 нм за один этап). Настраиваемая длина волокна (1–20 м) для гибкой интеграции в литографические машины, станции лазерной обработки и автоматизированные производственные линии.

Система водяного охлаждения промышленного класса: стабильная работа 24/7

• Система водяного охлаждения с высоким расходом: поддерживает температуру перехода лазерного диода ≤30°C для канала 405 нм и ≤25°C для канала 375 нм во время работы на полной мощности, обеспечивая среднее время безотказной работы ≥10 000 часов для промышленных производственных линий.

• Независимый контроль температуры и потока для каждого канала: предотвращает перекрестные помехи между двумя мощными лазерными диодами, обеспечивая стабильность длины волны и постоянное качество луча.

• Герметичные водяные разъемы G1/4, совместимые с основными промышленными контурами охлаждения; встроенный контроль расхода и защита от перегрева запускают автоматическое отключение каждого канала независимо, что позволяет избежать каскадного повреждения модуля.

Прочная конструкция и интеллектуальное управление: простая интеграция и безопасная эксплуатация

• Герметичный корпус из анодированного алюминиевого сплава (пылезащита IP54) с устойчивым к ультрафиолетовому излучению покрытием, подходящий для чистых помещений и заводских цехов, устойчив к пыли, влаге и химическим парам для защиты внутренней оптики.

• Многоинтерфейсная система управления: интерфейс связи RS485/Modbus поддерживает удаленный мониторинг и регулировку мощности, частоты модуляции и температуры для каждой длины волны.